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近日，中國科學院微電子所微電子設備技術究室夏洋研究員、劉邦武、劉金虎等科研人員組成的研發團隊聯合嘉興中科院微電子儀器與設備工程中心在黑硅太陽能電池研究上再獲進展。繼2012年11月多晶硅電池轉換效率達到17.88%后，再度取得進展，突破18.3%。

該團隊利用自行研制的等離子體浸沒離子注入設備，制備了納米表面結構的黑硅材料。黑硅的納米結構具有良好的吸光性能，也可以提高電池的填充因子與短路電流，從而大幅度提高電池的轉換效率。該技術簡單可控，可以減少部分化學液體的使用，與現有的硅電池生產線工藝完全兼容，有望在新一輪的光伏產業重組中占據技術優勢，為我國光伏產業的發展做出貢獻。據悉，該研究項目得到了國家自然基金委、中國科學院的項目資助。

據世紀新能源網了解，此前2012年12月，美國能源部國家可再生能源實驗室(NREL)科學家宣布采用采用納米技術生產的“黑硅”太陽能電池效率達到18.2%。NREL據稱這是該技術的巨大突破，為降低太陽能成本邁進了一大步。