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近日，青島市企業自主研制的太陽能電池專用等離子增強化學氣相沉積設備(PECVD)、太陽能電池專用閉管軟著陸擴散爐通過新產品鑒定，達到國際先進水平，兩種設備均可以替代進口，價格約為國外同類設備的1/3，已占據國內主要市場，對提高我國太陽能電池片技術具有重大促進作用。

PECVD是光伏產業的關鍵設備，以往基本依賴進口，青島市企業開發的PECVD設備解決了國產PECVD自動化程度低、溫度控制不準、工藝不穩定的缺陷;擴散爐是太陽能電池片生產最核心的設備，決定電池片的光電轉化效率，我市企業開發的擴散爐實現了晶片擴散工藝的全自動化控制和生產過程的信息化管理、送料取料自動和精確控制。

據悉，這兩種設備均由青島賽瑞達電子裝備股份公司研制。